多项选择题
A.化学汽相沉淀法B.原子层沉淀法C.水汽氧化D.氢氧合成氧化
A.温度越高，速度越快B.压力越大，速率越快C.水汽氧化最慢，干氧氧化最快D.掺杂浓度越高，速率越快
A.被氧化了44微米的硅B.被氧化了56微米的硅C.剩余的硅与生成的二氧化硅总的厚度和为144微米D.剩余的硅与生成的二氧化硅总的厚度和为156微米