什么是LIGA技术工艺过程; LIGA技术工艺过程名词解释定义是什么?

【参考答案】

深层同步辐射X射线光刻把从同步辐射源放射出的具有短波长和很高平行度的X射线作为曝光光源可在最大厚度达500um的光致抗蚀......

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