利用化学气相沉积法沉积n型非晶硅薄膜，通常是在反应气体硅烷或者乙硅烷中掺入氮气。

【参考答案】

化学气相沉积法（Chemical Vapor Deposition，简称CVD）是一种在基底表面通过化学反应生成固态薄膜......

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