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对硅的不同晶面具有不同的腐蚀速率,该种腐蚀属于各向同性腐蚀。
【参考答案】
硅的腐蚀速率依赖于晶面方向的现象实际上表明了腐蚀过程是各向异性的,而不是各向同性的。各向同性腐蚀指的是腐蚀速率在所有方向......
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