简答题 什么叫物理气相沉积，有何优缺点？

【参考答案】

物理气相沉积是在高真空容器中，Ti受热蒸发，蒸发出来的原子与通入工作室中的气体相遇（按比例），并被离子激活，在工件负偏压......

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