单项选择题

PG3000RMX全自动减薄机可以减薄的晶圆规格（）。

A.12寸和8寸
B.8寸和6寸
C.6寸和5寸
D.5寸和4寸

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单项选择题
划片时划片机的冷却水和切割水的水流量分别是（）L Min。

A.0.7～1.2、1.0～1.5
B.1.0～1.5、0.7～1.2
C.1.0～2.0、0.7～1.2
D.0.5～1.0、1.0～1.7
单项选择题
设备在正常关机前必须第一步先关闭（）。

A.切割水
B.主轴
C.真空单元
D.冷却水
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