判断题
GNX200B减薄机将装有待减薄晶圆的料盒放置到设备上料位置,当显示上料盒存放平台的状态指示由“IDLE”变为“READY”表示料盒放置正确。
【参考答案】
正确
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GNX200B减薄机上料检查确认上料盒中的晶圆图形面朝下,齐边或缺口朝后,且紧靠料盒后边沿缘。
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