简答题 薄膜应力有哪两类，它们各自形成的原因是什么？

【参考答案】

薄膜应力可以分为外应力和内应力。
薄膜外应力包括外界所施加的应力，基片和薄膜热膨胀不同所导致的应力和薄膜和基片......

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