简答题 简述旋涂稳定的控制。

【参考答案】

（1）、尽量少开旋涂室的门，控制温湿度；
（2）、旋涂室的温度应对外部环境略高些，基本为30℃。湿度为30%；......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)