简答题 低压化学气相沉积有哪些优点？

【参考答案】

优点：1.晶体生长或成膜的质量好
2.沉积温度低，便于控制
3.可使沉积衬底的表面积扩大，提高沉积效......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)