简答题 简述非晶氢化氮化硅（α-SiNx：H）薄膜的优点及其制备工艺。

【参考答案】

（1）H原子对硅材料中的体缺陷和晶界起到钝化作用，降低表面复合速度，进而提高VOC和ISC。
（2）氮化硅还有......

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