简答题 比较磁控溅射法与化学气相沉积法的特点是什么？

【参考答案】

所谓“溅射”就是荷能粒子轰击固体表面（靶），使固体原子（或分子）从表面射出的现象。应用这一现象将溅射出来的物质沉积到基片......

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