简答题 当旋涂机接片手往冷却梁输入arm 1手放片不正时，应如何调整？

【参考答案】

（1）首先调整接片手与arm 1手的对中，在arm 1手上放一碟片，接片手的四个吸咀均在碟片堆积环内且距中孔基本0距。......

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