简答题 化学气相沉积与物理气相沉积有什么区别？

【参考答案】

（1）化学气相沉积（CVD）是将低温下气化的金属化合物与加热到高温的工件接触，在工件表面与碳氢化合物和氢气或氮气进行气相......

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