简答题 CVD化学气相沉积法反应步骤可区分为几个步骤？

【参考答案】

（1）不同成份气相前置反应物由主流气体进来，以扩散机制传输基板表面。理想状况下，前置物在基板上的浓度是零，亦即在基板上立......

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