单项选择题

硅料国标中1级料对氧含量的要求为（）atoms/cm3。

A.≤1.0×1016
B..≤1.0×1017
C.≤1.5×1016
D.≤1.5×1017

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单项选择题
硅料国标中1级料对氧含量的要求为（）atoms cm3。

A.≤1.0×1016
B.≤1.0×10117
C.≤1.5×1016
D.≤1.5×1017
单项选择题
坩埚喷涂使用的是（）。

A.氮化硅悬浮液
B.液态氮化硅
C.SiC溶液
D.液态SiC
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