DFG8540减薄机warm-up的含义是（）。

DFG8540减薄机开始运行前设备应在（）状态。

A.暖机状态
B.初始化状态
C.初始化暖机状态
D.任何状态

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GNX200B减薄机工作盘平整度要求：对产品质量加工要求三个工作盘上加工的最终厚度偏差小于（）um。

A.2
B.3
C.4
D.5

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