电感耦合等离子体光源主要由（）、（）、（）等三部分组成，此光源具（）等优点。

【参考答案】

高频发生器；等离子炬管；雾化器；稳定性好、基体效应小、线性范围宽、检出限低、应用范围广、自吸效应小、准确度高