填空题

()加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。

【参考答案】

离子束
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填空题
离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等()作用,而不像电子束是通过()效应进行加工。
填空题
在电子工业中,离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的(),也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。
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