清洗系统装置分为A和B两个系列，以A系列为例其功能分为两个喷丝板槽和4个工件、滤芯专用槽，喷丝板槽对应的泵号为（），四组专用槽从西向东分别对应的泵号为（），其中51530A泵对应的喷丝板槽排污阀在钢平台上方，51510A以及四组专用槽的排污阀在钢平台（）方，每次开泵前要检查排污阀是否关闭。

【参考答案】

51530A、51510A； 51410A、51430A、51450A、51470A； 下