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电致伸缩微量进给装置的三大关键技术是电致伸缩传感器、微量进给装置的机械结构及其驱动电源。
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实现超精密加工的关键是微量去除技术。
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涂覆磨具是将磨料用粘接剂均匀得涂覆在纸布或其他复合材料基底上的磨具,又称涂敷磨具。
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