问答题

简答题简述气相外延生长（VPE，vapor phase epitoxy）的原理。

【参考答案】

是让生长原材料以气体或电浆粒子的形式传输至芯片表面，这些粒子在失去部份的动能后被芯片表面晶格吸附（Adsorb），通常......

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