单项选择题

管式PECVD生产过程中使用哪种化学品（）

A.氢氟酸
B.硝酸
C.盐酸
D.氨气

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判断题
镟床测量数据出现问题时可以使用标准轮对校准。
多项选择题
下列哪项是PECVD产生的不良（）

A.黄金片
B.爆花片
C.断栅
D.色差
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