问答题
案例分析题有一电容测微仪,其传感器的圆形板极半径r=5mm,开始初始间隙δ=0.3mm,问: 若测量电路灵敏度S1=100mv/PF,读数仪表的灵敏度S2=5格/mv,上述情况下,仪表的指示值变化多少格?
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问答题
工作时,如果传感器与工件的间隙缩小1μm,电容变化量是多少?
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问答题
采用差动方式其灵敏度ΔL Δδ=?
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