判断题
在镀膜前先需核对所镀镜片与流程卡是否相符。
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判断题
手动关机时,关闭扩散泵加热,等冷却50分钟后,需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
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判断题
手动开机时,打开扩散泵(DP)加热开关前先需把MV阀打开,否则会影响扩散泵抽速。
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