多项选择题

检漏仪里标准漏孔的作用是（）。

A.灵敏度校正
B.检漏仪性能确认
C.压力确认
D.漏率检测

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

多项选择题
RF 电源适用的设备是（）。

A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning
多项选择题
RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？

A.放电不稳定
B.匹配不稳定
C.Pr 残存
D.成膜慢
相关试题