材料指经过再加工，达到某种性能和功能要求，具备特定形态或形状的物质。（）

等离子体增强化学气相沉积中等离子体的作用是（）

A.将反应物中的气体分子激活成活性离子，降低反应所需的温度
B.加速反应物在表面的扩散作用（表面迁移），提高成膜速度
C.对于基体及膜层表面具有溅射作用，溅射掉那些结合不牢的粒子，加强了形成的薄膜和基板的附着力
D.等离子体能够降低镀膜气体分子的平均自由程

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获取单晶薄膜需要哪些条件（）

A.基板清洁，不能吸附各种气体杂质
B.温度要高
C.真空度高
D.沉积速率低

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