问答题

简答题 化学气相沉积装置的组成是怎样的？

【参考答案】

①反应气体和载气的供给和计量装置；
②必要的加热和冷却系统；
③反应产物气体的排出装置。

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

问答题
薄膜的化学制备方法有哪些？
问答题
什么是真空蒸镀？
相关试题