多项选择题

RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？

A.放电不稳定
B.匹配不稳定
C.Pr 残存
D.成膜慢

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多项选择题
下列可适用于sputter 设备的电源都有（）。

A.RF 电源
B.DC 电源
C.MF 电源
D.EB 电源
多项选择题
下列属于热阴极电离真空计的是（）。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列
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