填空题
三层同心的ICP炬管其外管通以Ar气,以切线方向引入,称为()气;中管通以Ar气,起维持并抬高等离子体焰炬的作用,称为()气;内管为1~2mm的细管做成,通以Ar气称为()气,以将试样引入等离子体中。
【参考答案】
工作冷却;等离子辅助;载
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