多项选择题
A.工艺冷却水 B.去离子水 C.软化水 D.脱盐水 E.超纯水
A.建设单位 B.监理单位 C.设计单位 D.施工单位 E.设备供货单位
A.主要生产厂房尽可能布置在厂区中央 B.单独建设的动力厂房与洁净厂房应留有足够距离 C.核心区（防微振区）布置在核心区域，两侧布置空调、冷冻、纯水等站房及工艺用泵房等，即在核心区周围有众多振源 D.顶层为空气洁净及送风层 E.底层为工艺生产层