单项选择题

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术

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热门试题

单项选择题

光刻加工的工艺过程为：（）

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

单项选择题

在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时，常采用的测量仪器为（）。

A.光学显微镜
B.扫描隧道显微镜
C.原子力显微镜

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