氦气和氩气是广泛应用于半导体制造业中的活性气体。（）

采用化学清洗液和沾污的杂质之间发生物理或化学作用来去除污染物的清洗方法为干法清洗。（） 点击查看答案

硅（Si）易于通过沉积工艺制备出单晶硅、多晶硅和非晶硅薄膜材料。（） 点击查看答案