简答题 何为低温泵，按其工作原理可分几种类型？

【参考答案】

低温泵是利用20K以下的低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵，是目前具有最高极限真空的抽气泵。低温泵又称冷凝泵、深冷......

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