多项选择题
A.上、下炉体 B.电源控制柜 C.电源配电柜 D.变压器 E.冷却系统
A、断电时功率百分比 B、断电时的温度 C、断电后退出自动运行的温度值 D、断电的累计时间值
A.坩埚内砸料 B.边料间距未达标准 C.各类型硅料摆放未按标准摆放 D.铸锭装料时硅料摆放位置不符合标准 E.硅料存在药液残留