多项选择题

油扩散泵的缺点是什么（）？

A.噪音大
B.需要水冷挡板
C.启动停止需要时间
D.存在油污染

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多项选择题
检漏仪灵敏度下降的原因有（）。

A.离子源老化
B.分析部污染
C.内漏
D.设定参数不对
多项选择题
UTM300B 泵吸气口可提供的法兰规格有哪些（）？

A.VG100
B.ICF152
C.ISO100-K
D.ICF203
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