超精磨削时，由于（）而产生振动，并加深了工件表面波纹的深度。

超精磨削（）时，磨削工件表面散热慢，易烧伤和产生螺旋形刀痕。

A.砂轮圆周速度偏高
B.砂轮圆周速度偏低
C.工件圆周速度偏高
D.工件圆周速度偏低

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对RZ值小于0.8μm的工件，需采用（）来测量其表面粗糙度值。

A.工具显微镜
B.光切显微镜
C.干涉显微镜

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