问答题
计算题 变间距形平板电容传感器，当d0=1mm时，若要求测量线性度为0.1%。求：允许间距测量最大变化是多少？
【参考答案】
当变间距平板型电容传感器的
<<1时，其线性度表达式为
由题意故得
，即测量允许变化量Δd=0.001mm。