简答题 半导体工艺中常用的薄膜形成工艺有哪些？并举例说明它们可分别用于哪些材料的淀积（每种工艺只列一种材料）

【参考答案】

氧化（Oxidation）：氧化硅（栅氧）；淀积 （Deposition）
化学气相淀积（CVD）：......

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