多项选择题
铸造多晶硅中氢的主要作用包括()
A.钝化晶界
B.钝化错位
C.钝化电活性杂质
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试题
单项选择题
铸造多晶硅中的氧主要来源不包括()
A.头尾料和锅底料中含有的氧
B.晶体生长过程中硅熔体与石英坩埚作用引入的氧
C.石墨加热器与坩埚反应引入的氧
D.外界空气的进入
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单项选择题
制约铸造多晶硅材料少子寿命的主要因素不包括()
A.氧及其相关缺陷
B.参杂浓度
C.以间隙铁为主的过渡族金属杂质
D.材料中的缺陷密度及其分布
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