真空蒸镀法薄膜形成过程，从开始蒸发到基片表面成膜，可分为四个阶段（）、（）、（）、（）

【参考答案】

成核—小岛阶段；聚结阶段、；形成网状薄膜；沟道、通路、孔眼阶段、成膜阶段