单项选择题
A.提高缺陷纵向分辨力B.提高缺陷横向分辨力C.提高信噪比D.提高缺陷尺寸测量精度
A.±1mmB.±3mmC.±5mmD.±7mm
A.缺陷位置的测量准确性B.缺陷长度的测量准确性C.缺陷高度的测量准确性D.以上A和B