简答题 简述研磨、抛光时加工表面产生变质层的机理和减少变质层的办法。

【参考答案】

硬脆材料经研磨后的表面，由于有微细的裂纹，加工后会在该部位继续留有裂纹。例如，对经研磨的单晶硅表面，使用氟、硝酸系列的溶......

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