单项选择题

设备在正常关机前必须第一步先关闭（）。

A.切割水
B.主轴
C.真空单元
D.冷却水

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单项选择题
DAD3350 DFD6340等有自动测高功能的设备，设置测高距离为（）米。

A.20
B.25
C.15
D.30
单项选择题
天水华天公司规定晶圆平整度必须≤（）。

A.10um
B.20um
C.15um
D.25um
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