简答题 物理气相沉积（PVD）按沉积薄膜气相物质的生成方式和特征主要可以分为哪几种？

【参考答案】

（1）真空蒸镀--镀材以热蒸发原子或分子的形式沉积成膜。
（2）溅射镀膜--镀材以溅射原子或分子的形式沉积成膜......

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