单项选择题
A.X轴精度、Y轴精度、定位精度 B.定位精度、重复精度、分辨率 C.X、Y导轨运动的机械精度、Z轴旋转精度、定位精度 D.平移误差精度、X、Y导轨运动的机械精度、分辨率
A.抽样检验 B.首件检验 C.加严检验 D.必要检验
A.陶瓷 B.有源 C.声表面波 D.微机械(MEMS)