简答题 写出镀膜过程应注意哪些参数变化？

【参考答案】

镀膜过程中应注意真空度是否稳定、光量走值是否平滑无波动、蒸发速率稳定在设定范围内、电子枪能量是否稳定、离子源的各参数变化......

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