超声冲击磨蚀采用机械 能量，超声复合加工有：（）、（）、（）以及（）。

常用的超声变幅杆有（）、（）、（）及（）等形式。 点击查看答案

离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。 点击查看答案