多项选择题

需要监控的参数包括（）。

A.膜的晶粒
B.膜的厚度
C.膜的均匀性
D.膜的反射率

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多项选择题
PVD有哪些种类？（）

A.蒸镀
B.溅镀
C.电镀
D.焊镀
单项选择题
AlSi合金中含Si比例一般为（）。

A.1%
B.3%
C.5%
D.7%
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