简答题 何为化学气相蒸镀（CVD）？主要的优缺点有哪些？

【参考答案】

化学气相蒸镀乃使用一种或多种气体，在一加热的固体基材上发生化学反应，并镀上一层固态薄膜。
优点：
（......

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